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氦气密封性检测

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  • 技术指标

    定量测量范围(Pa-m3/s) 10ˉ12~10ˉ2
    进气口排气速度(He) 1.8L/s(Gross Mode)
    2.0L/s(Middle Mode)
    5.0L/s(-H:Fine Mode)
    进气口形状 NW25(ISO)
    主泵 TMD 50L/s
    显示 彩色液晶

     

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