风量标准装置-I
●风量可自动调整。
●提供送风与吸风两个测试口。
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氦气密封性检测
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技术指标
| 定量测量范围(Pa-m3/s) | 10ˉ12～10ˉ2 |
| 进气口排气速度(He) |
1.8L/s(Gross Mode) 2.0L/s(Middle Mode) 5.0L/s(-H:Fine Mode) |
| 进气口形状 | NW25(ISO) |
| 主泵 | TMD 50L/s |
| 显示 | 彩色液晶 |
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