氦气密封性检测

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技术指标

定量测量范围(Pa-m3/s)	10ˉ12～10ˉ2
进气口排气速度(He)	1.8L/s(Gross Mode) 2.0L/s(Middle Mode) 5.0L/s(-H:Fine Mode)
进气口形状	NW25(ISO)
主泵	TMD 50L/s
显示	彩色液晶

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