风量标准装置
●精心设计的流道结构,避免了气体在轴承间的流动,提高了流量计的介质适应性。
●独特的反推结构和密封结构设计,确保轴承长期可靠运行。
●独立式机芯,互换性好,维护方便。
●涡轮叶片的高频无磁检测技术,大大提高检测精度,保证检测可靠性。
技术指标
定量测量范围(Pa-m3/s) | 10ˉ12~10ˉ2 |
进气口排气速度(He) |
1.8L/s(Gross Mode) 2.0L/s(Middle Mode) 5.0L/s(-H:Fine Mode) |
进气口形状 | NW25(ISO) |
主泵 | TMD 50L/s |
显示 | 彩色液晶 |
相关产品